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時間：2013-04-18作者：上海冬海機電科技有限公司瀏覽：421

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• ULVAC真空泵故障檢查及處理方法之一

  ULVAC愛發科真空泵故障檢查 : 問題1——真空泵不旋轉? 故障原因： ①電機接線錯誤 ??②帶電磁開關等安全回路安裝錯誤 ③油的粘度變高 ??④異物進入泵內，轉子等發生咬死 ⑤排放反應性氣體后、泵停止期間反應生成物在泵內積存 處理方法： ①檢查接線?②安全回路符合電機要求?③換油? ④檢修（更換缸體、轉子、蓋板）