真空系統氦質譜檢漏服務

時間：2020-01-05

作者：深圳銳誠真空技術有限公司

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真空系統氦質譜檢漏服務
真空氦檢漏服務氦質譜檢漏方法根據被檢漏的零件的具體情況采用不同的方法。真空容器或器件常用噴吹法、氦室法和累積法。噴吹法是用噴槍對可yi部分噴氦氣，找出漏孔的位置，但效率較低;氦室法可對大容器檢漏，將可yi部分用氦室罩上充入氦氣,可以找到漏孔的大致范圍,但漏孔位置不能精準確定。氦室法檢漏效率較高。對于微小漏孔，可采用累積法，即先用氦室對可yi部分充入氦氣，再將檢漏儀節流閥關閉，積累一定時間，打
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