半導體晶圓中測設備-探針臺

時間：2019-03-30作者：河北西五科技有限公司瀏覽：1615

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  詞條說明

• 晶圓測試自動探針臺

  探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本特性。 半自動型 chuck尺寸800mm/600mm X,Y電動移動行程200mm/150mm chuck粗調升降9mm，微調升降16mm 可搭配金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡 針座擺放個數6～8顆 顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2

• 半導體晶圓中測設備-探針臺

  晶圓測試探針臺和測試機是晶圓測試環節的**設備。探針臺的主要作用是將晶圓和測試機相連接，具體過程為：探針臺將晶圓逐片自動傳送至測試位置，芯片的pad點通過探針、**連接線與測試機的功能模塊進行連接，測試機對芯片施加輸入信號、采集輸出信號，并將測試結果通過傳送給探針臺，探針臺據此對芯片進行打點標記，行程晶圓的Map圖。另外，探針卡作為重要的耗材，是將晶圓的DUT板相連接的測試接口，通過探針與晶圓上每