半導體行業工藝制程真空應用

時間：2021-03-17

作者：深圳高志自動機電有限公司

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真空泵的應用領域
真空泵的定義“真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。限壓力(限真空)從粗真空到10-12Pa以上的高真空范圍。”一、液環真空泵工作原理液環泵應用領域：紙漿和紙張生產中的應用：黑液蒸發、粗漿
氦質譜檢漏儀在電池行業應用的發展趨勢
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