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*的用旋片式真空泵串接擴散泵即可.泵的抽速選擇,由真空室大小以及真空確定.一般是兩臺旋片式真空泵+一臺擴散泵組成.一臺旋片式真空泵直抽真空室,另一臺抽擴散泵.當真空室到5Pa以下,并且擴散泵預熱后,切換到擴散泵抽真空室.因為擴散泵有冷阱,所以泵油不會污染真空室.假如有錢,就用分子泵代替擴散泵.不用預熱.并且徹底無油.
電機溫度高原因分析(1)電機功率大,工作電流大,發(fā)熱量大。(2)風扇轉(zhuǎn)速低,風壓,風量小。(3)風扇葉片數(shù)較少,產(chǎn)生的風量小。(4)電動機附有灰塵、油污,降低了散熱能力。(5)真空泵電機所在母線電壓為380V,由于電纜壓降及負荷分配不均,電機實際所加電壓只有365V,電壓偏低造成運行電流大。對策電機功率、轉(zhuǎn)速是和真空泵相匹配的,不能改。風扇安裝于電機主軸上,電機轉(zhuǎn)速決定了風扇轉(zhuǎn)速,也不可換。增加風
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
【XD旋片真空泵】真空泵拆裝步驟1、先把真空泵油放盡、松開進氣咀法蘭螺釘,拔出進氣咀,松開氣鎮(zhèn)法蘭螺釘,拔出氣鎮(zhèn)閥2、拆下真空泵油箱、拆除止回閥開口銷,拆下止回閥葉輪。3、拆除支座與泵的連接螺釘,拆下泵部裝件,電機拆否視方便而定。4、松開泵蓋螺釘,拆下泵蓋,拉出二轉(zhuǎn)子及旋片。拆下低級轉(zhuǎn)子時,應先拆下開口銷。旋片式真空泵裝配步驟1、旋片式真空泵裝上泵部的排氣閥、擋油板等零件。2、把泵部、鍵、聯(lián)軸節(jié)、
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
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地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號10幢224室
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