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真空泵選型真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內的氣體壓力,使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到較高真空有一個很大的范圍,至今為止還沒有一種真空系統能覆蓋這個范圍。因此,為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。為達到較佳配置,選擇真空系統時,?應考慮下述各點:確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統的極限真空度,
XD型單級旋片式真空泵的優點1、強的排除水蒸氣的能力。2、出口油霧過濾器為標準配置,真空泵油循環使用,無油煙,清潔、環保、省油。3、可以在進口壓力為大氣壓的情況下連續工作。4、在低壓強下仍能保持高的抽速。5、內置自動防返油閥。6、SV630以下為風冷,不需要水冷,經濟方便。7、低噪音,低振動。8、結構緊湊,體型小,節省空間。9、可以與各種附件配套使用,因而可以滿足各種不同應用的需要
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
??普旭真空泵排除方法:?????(1)如泵的轉速不夠,且抽氣量是與泵的轉速成正比,則泵的抽氣量就會下降。這有兩種情況;一種情況是泵的轉速未配備好,也就是皮帶輪的直徑不合適,可換皮帶輪,改變皮帶輪的直徑;另一種情況可能是皮帶安裝不當、未張緊,皮帶打滑而降低了轉速,這可調節電機位置,使皮帶張到一定緊度。??&n
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