詞條
詞條說(shuō)明
真空泵更換浮子閥1、回油浮球安裝在油箱內(nèi),泵頭處的回油管將連接與之相通的孔,將泵頭內(nèi)多余的油收集到油箱內(nèi)部。2、當(dāng)回油浮球失去效果,則在油位較高時(shí)無(wú)法堵住油口,后果將會(huì)導(dǎo)致整個(gè)回油油路無(wú)法正常工作。從而間接導(dǎo)致真空泵泵體潤(rùn)滑不夠,或泵體油分過(guò)多。3、為了保持油路的暢通和正常工作,以及獲得穩(wěn)定的真空度、延長(zhǎng)真空泵使用壽命的前提下,當(dāng)大保養(yǎng)或維修時(shí)若回油浮球失去效果,請(qǐng)立即更換!浮子適用于普旭旋片式真
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
旋片真空泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片真空泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙),轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。?旋片真空泵的工作原理圖是怎樣的??旋片真空泵的工作原理:?旋片真空泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片真空泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙),轉(zhuǎn)子槽內(nèi)
潤(rùn)滑油在真空泵中真空泵油不僅作為獲得真空的介質(zhì),還對(duì)機(jī)械摩擦點(diǎn)起潤(rùn)滑、冷卻和密封作用。這是真空泵油的較重要的性能,由于真空泵要求真空度很高,一般用石蠟基窄餾分潤(rùn)滑油,對(duì)于擴(kuò)散真空泵,還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。真空泵腔內(nèi)容積不斷變化而形成排氣作用,要求潤(rùn)滑油應(yīng)具有合適的粘度和粘溫特性。真空泵不斷向高速度發(fā)展,由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高,油品很容易氧化分解,尤其擴(kuò)散泵往往處于很高的
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