光刻機伺服控制器維修

時間：2019-05-07

作者：常州凌肯自動化科技有限公司

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臺達DVP32EH00T2解密發現除了通道3的Z軸可以正常移動外，其余的通道1的Z軸和通道2的Z軸，點動MCP面板上的“+”、“-”鍵，就報警25050#。對照診斷手冊，25050報警為軸%1輪廓監控錯誤，主要報警含義是指當軸接收到移動命令后移動軸，沒有按MD36400參數差別范圍移動到目標位置。.臺達DVP32EH00T2解密經到現場變頻器維修檢測確認，問題確實如此。開蓋再次對變頻器的主電路的
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