PBA直驅(qū)電機在高速晶圓檢測中的應(yīng)用

時間：2022-02-10作者：碧綠威自動化（深圳）有限公司瀏覽：335

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  詞條說明

• PBA直線電機在地鐵應(yīng)用

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  直線電機模組，應(yīng)該想到的就是X軸和Y軸，下面給大家介紹直線電機模組Z軸上的特點。 1、 標(biāo)準(zhǔn)的直線電機模組采用鋁合型材精密加工的。 2、 標(biāo)準(zhǔn)的直線電機模組有效行程是60mm。 3、 標(biāo)準(zhǔn)的直線電機模組采用高性能U型直線電機，連續(xù)推力為30N-100N。Z軸彈簧的配重。 4、 標(biāo)準(zhǔn)直線電機模組采用進口thk導(dǎo)軌光柵和相應(yīng)的驅(qū)動器，可實現(xiàn)±0.2um重復(fù)性和±10um的直線度。 5、 采用進口的th