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4N高純氧化鋁在半導(dǎo)體CMP拋光液中的應(yīng)用


    山東嘉晨新材料技術(shù)有限公司專注于4N高純氧化鋁粉,氧化鋁連續(xù)纖維及制品,高性能氧化鋁溶膠等

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  • 4N高純氧化鋁在半導(dǎo)體CMP拋光液中的應(yīng)用

    高純氧化鋁磨料在半導(dǎo)體化學(xué)機械拋光(CMP)中扮演著關(guān)鍵角色,主要用于實現(xiàn)晶圓表面的平坦化123。以下是其具體應(yīng)用:優(yōu)勢硬度高:對硬度較大的襯底材料(如藍寶石、碳化硅)具有優(yōu)良的去除速率,滿足半導(dǎo)體材料的高硬度拋光需求34。性能穩(wěn)定:不溶于水,不與酸堿反應(yīng),確保拋光過程穩(wěn)定,減少設(shè)備腐蝕35。粒度可控:納米級氧化鋁顆粒可實現(xiàn)原子級平整度,滿足**半導(dǎo)體制造要求12。發(fā)展趨勢技術(shù)突破:國內(nèi)正努力突破

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