半自動晶圓撕膜機STK-5020是減薄后適用于 8”&12”晶圓

時間：2021-04-26

作者：上海衡鵬實業有限公司

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【晶圓鍵合】超薄晶圓鍵合機應用于晶圓臨時性鍵合/解鍵合 ——Wafer Bonding/Debonding 超薄晶圓鍵合機Wafer Bonding/Debonding的特點： 4”-8”/8”-12”晶圓適用，支持極薄化晶圓的鍵合。可選真空熱壓/UV/激光等鍵合方式鍵合機智能測繪料籃內晶圓，兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料。鍵合機支撐晶圓、產品晶圓進行自動對準超薄晶圓鍵合機可自動完成晶圓鍵合（
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