藍寶石化學機械拋光液作用研究

時間：2023-02-22作者：無錫吉致電子科技有限公司瀏覽：93

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  詞條說明

• 如何讓研磨液在藍寶石的研磨中起到更好的作用

  不同的CMP拋光液對藍寶石研磨效果不應相同，而且研磨液對藍寶石晶體研磨效率的提升和表面質量的改善具有一定的良好反應。藍寶石晶體因其優越的物理、光學性能，在LED襯底材料和固態激光發光介質中運用非常廣泛，并且將運用到手機面板上。藍寶石的廣泛運用對它的光滑無損傷的表面研磨拋光技術提出了較高的要求，但藍寶石因其物理、化學性能比較穩定，在加工上比較艱難。?在目前的工業上，對于藍寶石的加工需要采用

• 藍寶石化學機械拋光液作用研究

  目前，藍寶石基片是LED工業的可以選擇襯底，藍寶石表面的質量對LED器件的質量和性能有著非常重要的影響。因此，在生產藍寶石基片時，對后一道工序拋光加工工序有很高的要求，要求藍寶石基片的表面光滑、無缺陷，這也是藍寶石襯底重要的制程。但是，由于藍寶石晶體材料硬度高，脆性大，屬于典型的難加工材料之一。因此，如何讓拋光加工滿足日益增長的嚴格要求長期以來備受關注。如今的化學機械拋光是一可實現全局平坦化的拋光方法