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鈦鋯合金靶材


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  • 鈦酸鑭靶材

    鈦酸鑭靶材:高性能濺射鍍膜的關鍵材料鈦酸鑭靶材作為一種新型功能陶瓷材料,在薄膜制備領域展現出獨特優勢。這種靶材主要由氧化鈦和氧化鑭按特定比例混合燒結而成,其晶體結構穩定,化學性質優良,成為濺射鍍膜工藝中的重要材料選擇。鈦酸鑭靶材最顯著的特點是具有較高的介電常數和較低的介電損耗。這一特性使其在制備高k介質薄膜時表現突出,能夠有效提升集成電路的性能。同時,該材料還表現出良好的熱穩定性和化學穩定性,在

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