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5軸機械手臂能夠在真空環境下對應不同類型設備的多種布局 5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂特點: 5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂GTVCR5000系列 實現了下降價格,但是也可以維持以前的GTVHR5000系統的機能,功能 能夠在真空環境下對應并排擺放的腔室工作臺布局,能夠靈活地適應不同類型設備的多種布局 通過優化機械手臂的空間尺寸,有利于減小真空腔室的內部容積 非常適合inline設備 機械手臂
真空3軸圓柱坐標型_晶圓搬送機械 真空3軸圓柱坐標型_晶圓搬送機械特點: 真空3軸圓柱坐標型機械手臂SVCR3000系列 雙手指結構可以在真空腔室內搬運4kg以下的托盤 相比LVHR系列機械手臂具有較好的性價比優勢 手臂關節處使用磁流體密封裝置 真空密封:磁流體密封裝置和波紋管 提高潔凈度的方法:手臂內部排氣口安裝5μm級過濾器 配備動作監視器 控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式 全軸采用
晶圓撕膜機STK-5050_晶圓臺盤帶吸真空功能 半自動晶圓撕膜機STK-5050規格參數: 晶圓尺寸:8”&12”晶圓; 厚度:150 ~750 微米; 撕膠膜種類:撕膜膠帶; 寬度:100~150 毫米; 長度:100 米; 撕膜角度:<45 度,并且在 5°~45°可調節; 撕膜溫度:室溫到 100 ℃范圍可調,控溫精度+/-3℃; 晶圓臺盤:通用防靜電特氟隆涂層接觸式金屬臺盤; 帶可控加熱
SINTAIKE_STK-7060真空晶圓貼膜機 ——全自動送膠帶,貼紙,裁切/手動裝卸晶圓和框架 SINTAIKE_STK-7060真空晶圓貼膜機特點: 8”晶圓適用 專利設計的無滾輪真空貼膜 自動膠膜進給及貼膜 手動晶圓上下料 自動圓形軌跡切割膠膜 藍膜、UV膠膜可選 工控機+Windows系統 配置光簾保護功能,和緊急停機按鈕 三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態監控 SINTAIKE半自動晶圓真空
公司名: 上海衡鵬實業有限公司
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