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詞條說明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
單級旋片式真空泵-適用范圍1、XD型單級旋片式真空泵適用于密閉系統的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。2、入口壓力范圍:100Pa~100000Pa,出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產生。XD型旋片式真空泵工作環境溫度和吸入氣體溫度應在5℃~40℃之間。3、XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。3、真空泵葉片碎裂不會產生真空,需換葉片。4
旋片真空泵抽氣原理與結構:旋片泵,它有偏心地裝在定子腔內的轉子及轉子槽內的兩個或數個旋片,轉而獲得真空。雙級泵由二個單級串聯而成,進氣壓力高時,一般大中型泵,二級可同時排氣,進氣壓力低時,氣體由高級排人低級,然后再排出泵外。由于泵是利用吸氣容積的變化來抽吸氣體的,其名義抽速可按吸氣的幾何容積來設計計算。旋片泵,它有偏心地裝在定子腔內的轉子及轉子槽內的兩個或數個旋片,轉而獲得真空。雙級泵由二個單級串
單級旋片式真空泵-適用范圍1、XD型單級旋片式真空泵適用于密閉系統的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。2、入口壓力范圍:100Pa~100000Pa,出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產生。XD型旋片式真空泵工作環境溫度和吸入氣體溫度應在5℃~40℃之間。3、XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。4、一般供應的電動機不防爆,如要求防爆或其它
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
聯系人: 黃先生
電 話: 17502155678
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微 信: 17502155678
地 址: 上海金山廊下鎮金廊公路41號10幢224室
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網 址: ocsmqh.b2b168.com
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