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真空泵維護與保養:1.泵及其四周環境應經常保持清潔,防止雜物進入泵內。?2.泵的運轉過程中,油箱內的存油量不得低于油標中心。?3.不同種類和牌號的真空泵油,不可混合使用。?4.泵在使用中,因系統損壞等特殊事故,進氣口突然暴露大氣時,應盡快停泵,并切斷與系統連接的管道,防止噴油、污染場地。?5.泵由于存放或使用不當,水份或其它揮發性物質進入泵內而影響極限真空時
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
電機溫度高原因分析(1)電機功率大,工作電流大,發熱量大。(2)風扇轉速低,風壓,風量小。(3)風扇葉片數較少,產生的風量小。(4)電動機附有灰塵、油污,降低了散熱能力。(5)真空泵電機所在母線電壓為380V,由于電纜壓降及負荷分配不均,電機實際所加電壓只有365V,電壓偏低造成運行電流大。對策電機功率、轉速是和真空泵相匹配的,不能更改。風扇安裝于電機主軸上,電機轉速決定了風扇轉速,也不可更換。增
真空泵油和潤滑油的區別:1、真空泵油具有一定的粘度,粘度的高低決定了真空泵的密封性,粘度的過小,密封性則不好;粘度過高,會加大泵內葉片與缸體的摩擦力度,潤滑作用就會變差,同時,轉子的旋轉將會變得困難,電機的壓力將會變高,油溫也會越來越高。油溫的升高會加速泵油的乳化呈度,真接影響真空度的高低。2、真空泵油的化學性質趨于穩定,水分、水溶酸、不溶堿和其它雜質的含量要小的多的多,使用油能效的辟免多次換真空
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