氣浮運動臺主要有哪些優點

時間：2021-06-08

作者：北京瑞邦精控科技有限公司

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氣浮運動臺主要有哪些優點
氣浮運動臺，隨著半導體進入到快速發展的階段，相應的加工檢測設備也會逐漸的提高性能，所以有許多的公司都會用到氣浮運動臺，這是一款高精度的設備，主要作用于半導體加工、檢測，微納加工，測試測量等，但是它到底有哪些主要的優勢。1.? ?直線度和平面度高2.? ?定位精度和重復定位高3.? ?速度穩定性高4.? ?偏擺、俯仰、滾
氣浮平臺介紹
高精度和高分辨率的氣浮平臺系統在近代工業生產和科學研究領域內占有為重要的地位。它直接影響精密、精密切削加工水平、精密測量水平及大規模集成電路生產水平。它的各項技術指標是各國高技術發展水平的重要標志。氣浮平臺系統的定位精度和行程范圍直接影響到生產加工的精度和加工能力。同時工作臺的速度、加速度及啟停過程的穩定時間則影響到設備的效率，成為系統的重要指標。由于精密及精密氣浮平臺的定位精度和分辨率多
氣浮運動臺為什么能夠備受大家的認可
氣浮運動臺逐漸得到大家的認可。如今的制造業早已進入到快速發展的階段，傳統的絲桿驅動結構或直驅線軌臺影響到了很多檢測設備的性能。在運動控制方面憑借著專業的經驗早就已經推出很多不一樣的產品，如果仔細觀察生產現狀，就會發現有一種氣浮運動臺，具有著好的效果，那么它到底有哪一些特點？??? 首先氣浮導軌接近零的摩擦系數，較高的直線度和平度誤差，而且還擁有著直線電機驅動，整體的
高速精密氣浮平臺及其直線電機驅動特性
由于氣浮導軌具有高精度、低阻尼、低摩擦、無污染等優點；同時，直線電機具有無接觸、速度快、精度高、噪聲低等特點，在運動系統中能夠直接產生直線運動，避免了滾珠絲杠、螺母等中間傳動機構，實現了直接驅動。因此，直線電機和氣浮導軌的結合，能夠充分發揮各自的特點，適合應用于精密運動平臺的設計之中。但由于直線電機驅動的高速精密氣浮平臺加速度變化的不連續性以及缺少中間彈性阻尼環節，抗干擾能力較差，易產生調和振