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小型金屬濺射鍍膜機優點


    鄭州科探儀器設備有限公司專注于真空探針臺,小型離子蒸鍍儀,小型離子濺射儀等

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    詞條說明

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  • 小型金屬濺射鍍膜機優點

    1、樣品臺旋轉,多樣品同時鍍膜時,鍍膜厚度比較均勻。2、預濺射擋板功能,剛開始鍍膜的時候腔室里會有些雜質,擋板可以保護樣品,提高薄膜質量3、帶有水冷系統,可以長時間濺射鍍膜,厚度可達1微米以上。4、直流磁控濺射,提高附著力,濺射速率快,比離子濺射快上一個量級。針對某些金屬較快能達到1-2納米每秒,5、不但可以電鏡制樣,還可以制作金屬電極。6、可擴展膜厚監測,監測薄膜厚度。濺射儀使用需注1 靶材需要

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