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詞條說明
?針對光學(xué)和介電功能薄膜制備中的離化率低和靶面污染問題,設(shè)計了一種磁控濺射沉積系統(tǒng),系統(tǒng)包括磁控濺射靶裝置、等離子體源和陽極清洗裝置。主要結(jié)論有:(1)在磁控濺射靶裝置設(shè)計中,采用磁流體密封替代橡膠軸承密封,提高了靶裝置的密封性,極限真空度可達(dá)10-6 Pa;采用旋轉(zhuǎn)磁鋼代替固定磁鋼,使靶材的利用率從30%提高到60%,同時避免了靶裝置在預(yù)先清洗時的污染;設(shè)計了靶裝置的驅(qū)動端,完成了電機
1. 自我診斷技術(shù)自我診斷技術(shù)是在不停機或基本不拆機的情況下,通過各種檢測分析來判斷設(shè)備狀態(tài)是否正常,異常或故障的原因、部位、程度以及壽命的預(yù)測。自我診斷技術(shù)的主要作用是獲得設(shè)備的結(jié)果狀態(tài)信息,即根據(jù)設(shè)備在各種工況下,表現(xiàn)出來的精度**差,零點漂移,內(nèi)漏等所有狀態(tài)信息的綜合分析來識別產(chǎn)品的狀態(tài)、異常類型和異常的嚴(yán)重程度,其本質(zhì)是一個包含信號、信息提取、信息綜合、故障識別和信息利用的過程。自我診斷的目
基于真空探針臺的紅外焦平面自動測試的關(guān)鍵技術(shù)研究
紅外熱成像技術(shù)由于自身各種優(yōu)勢在軍事領(lǐng)域和民用領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景,因此備受各國重視,競相發(fā)展相關(guān)技術(shù)。? ? 由于國外對紅外熱成像技術(shù)的研究比較早,而我國在紅外熱成像技術(shù)領(lǐng)域起步較晚,所以差距很大。近年來我國在紅外熱成像技術(shù)的相關(guān)領(lǐng)域**了一些進(jìn)展,但很多方面還是遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于世界水平。? ? 因此,還需要加快紅外熱成像技術(shù)的研究。本課題以加快紅外熱成像技術(shù)
1、樣品臺旋轉(zhuǎn),多樣品同時鍍膜時,鍍膜厚度比較均勻。2、預(yù)濺射擋板功能,剛開始鍍膜的時候腔室里會有些雜質(zhì),擋板可以保護(hù)樣品,提高薄膜質(zhì)量3、帶有水冷系統(tǒng),可以長時間濺射鍍膜,厚度可達(dá)1微米以上。4、直流磁控濺射,提高附著力,濺射速率快,比離子濺射快上一個量級。針對某些金屬較快能達(dá)到1-2納米每秒,5、不但可以電鏡制樣,還可以制作金屬電極。6、可擴(kuò)展膜厚監(jiān)測,監(jiān)測薄膜厚度。濺射儀使用需注1 靶材需要
公司名: 鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
聯(lián)系人: 裴先生
電 話:
手 機: 15136134901
微 信: 15136134901
地 址: 河南鄭州中原區(qū)鄭州**產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)西三環(huán)路289號6幢11單元3層73號
郵 編:
網(wǎng) 址: zzketan.b2b168.com
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