氣體質量流量控制器的自我診斷技術

時間：2023-10-07

作者：鄭州科探儀器設備有限公司

詞條
詞條說明
小型濺射儀問題解答
小型濺射儀儀問儀答近小伙伴對于濺射儀使用和技術參數問的問題比較多，今天總結一下濺射儀的一些常見的技術問題：1、膜厚檢測儀原理：膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理，利用頻率測量技術加上的數學算法，進行膜厚的在線鍍膜速率和實時厚度計算。主要應用于MBE、OLED或金屬熱蒸發、磁控濺射設備的薄膜制備過程中，對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測。2、濺射儀是否可以鍍鎳：可以鍍鎳 ?但是鎳是導磁金屬
掃描探針顯微鏡多功能組合探針系統研制
掃描探針顯微鏡是目**種用途廣泛的表面分析儀器,它不僅廣泛應用于物理、化學、生物、醫學等基礎研究領域,還在微納制造和微電子等的應用研究領域中發揮著越來越重要的作用。然而,目前商業化的掃描探針顯微鏡主要為單一探針的工作模式,其功能相對單一,難以實現一些較為復雜的實驗及檢測功能。? ? 例如,在特殊環境下(如真空或輻射環境)的微觀磨損實驗中,若采用單一探針模式,在完成磨損實驗后,需
高低溫探針臺-解釋塞貝克系數測量原理及系數
塞貝克系數（Seebeck Coefficient）也稱為熱電偶效應或Seebeck效應，是指兩種不同導體（或半導體）材料在一定溫差下產生熱電動勢的現象。塞貝克系數是研究熱電材料（將熱能轉化為電能的材料）非常重要的一個參數，它用來衡量材料在一定溫差下產生的熱電壓。?塞貝克系數的測量方法有很多種，其中一種常用的方法是恒流法。準備一個熱電偶，它由兩種不同材料的導線組成。然后將熱電偶的其中一個
探針臺精準控制關鍵技術研究
集成電路自動化裝備-探針臺是晶圓測試領域研究的熱點。由于晶圓片上晶粒很小,達到微米級,所以要求探針臺要保持很高的定位精度和運動精度才能保證探針與晶粒的準確對針和測試。因此,本文主要研究的問題是如何保證探針臺高精密控制,從而達到微米級定位要求。? ? ? ?本文來自于國家02專項-面向12”晶圓片的全自動探針臺關鍵技術研究。首先,本文介紹了探針臺兩大部分-LO