鏈帶式焊接爐

時間：2014-10-22作者：青島福潤德微電子設(shè)備有限公司瀏覽：99

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  詞條說明

• LPCVD設(shè)備

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• 太陽能擴散爐

  太陽能電池擴散工藝及其設(shè)備 太陽能電池擴散工藝及其設(shè)備 ????技術(shù)方案是：一種太陽能電池擴散工藝，在太陽能電池擴散工藝中通控制抽氣排風壓力，使抽氣排風壓力這個參數(shù)保持穩(wěn)定，抽氣排風壓力這個參數(shù)保持穩(wěn)定，抽氣排風壓力的穩(wěn)定導(dǎo)致辭磷在硅片中的注入濃度穩(wěn)定，使加工后得到的硅片的方塊電池保持穩(wěn)定，在后道的燒結(jié)中可以匹配出高效的太陽能電池。抽氣排風壓力通過在機臺排

• 等離子增強化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)(PECVD)

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• （單管程序氧化爐）

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