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鵬城半導(dǎo)體攜熱絲CVD金剛石設(shè)備亮相碳基半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇


    鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司專注于PVD鍍膜設(shè)備,化學(xué)氣相沉積,金剛石涂層等

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    【前言】金剛石是自然界已發(fā)現(xiàn)的具有較高的硬度、強度、耐磨性材料,金剛石具有的熱導(dǎo)率、透過波段、聲速以及半導(dǎo)體特性和化學(xué)惰性等綜合性能使其成為當今世界上較優(yōu)秀的*材料。上世紀80年代初期通過化學(xué)低壓氣相沉積生成金剛石薄膜(CVD)技術(shù)**突破性進展,經(jīng)過多年的研究發(fā)展,CVD金剛石生長技術(shù)已日漸成熟。目前已有四種形態(tài)的CVD金剛石產(chǎn)品進入市場,它們是:1)純多晶金剛石厚片 2)涂層金剛石;3)大

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