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氧化鋁拋光粉(VK-L30F)在藍寶石襯底拋光中的應用


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  • 氧化鋁拋光粉(VK-L30F)在藍寶石襯底拋光中的應用

    氧化鋁拋光粉(VK-L30F)在藍寶石襯底拋光中的應用 13305631332,qq:524915046 目前, 在藍寶石的CMP 工藝中, 常用的磨料主要包括金剛石、二氧化硅溶膠、氧化鈰和氧化鋁等磨料。 實驗數據表明,a-氧化鋁拋光粉(VK-L30F,0.3um,球型)在藍寶石拋光過程中的優勢逐漸明顯。 金剛石只用于傳統的機械拋光,其硬度(莫氏10)比藍寶石(莫氏9)硬度高,容易產生劃傷,藍寶

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  • 摻雜納米二氧化鈦對電池正極材料性能的改進明顯

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